吕建国
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孟凡明
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周明飞
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宋学萍
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孙兆奇
功能材料
用原子力显微镜观察经不同退火温度处理TiO2薄膜的表面形貌,观察结果表明,随着退火温度的升高,颗粒不断长大,数目逐渐减少,表面粗糙度RMS从4.1nm增大到18.4nm.用最小二乘法对原子力显微镜图像多重分形谱进行二次函数拟合,结果显示,随着退火温度的升高,α0从1.999增大到2.008,由正值转变为负值,分形谱宽W由0.064增大到0.246,说明TiO2薄膜表面形貌愈来愈复杂.
关键词:
TiO2薄膜
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原子力显微镜
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多重分形谱
,
二次函数拟合
