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王昌铧 , 姚宗熙
液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.1999.03.009
研究了用薄膜SiO2作介质的可行性.并对电子束蒸发制备的SiO2介质膜进行了微观分析.
关键词: 等离子体显示板 , 介质膜 , 电子束蒸发 , 透射电镜