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雷黎 , 赵高扬 , 刘晓梅 , 赵娟娟
稀有金属材料与工程
采用低氟溶胶-凝胶法在Φ76.2 mm的LaAlO3(LAO)单晶衬底上制备YBCO薄膜,然后对Φ76.2 mm的YBCO薄膜样品的微观结构、膜厚及超导性能进行均匀性测试分析.结果表明:所制备的薄膜厚度均匀并具有较好的c轴外延生长取向和均匀的超导电性能.
关键词: 低氟溶胶-凝胶法 , YBCO薄膜 , 大面积 , 外延生长
