余萍
,
吴惠桢
,
陈奶波
,
徐天宁
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2005.03.009
采用低温物理沉积技术在二氧化硅衬底(SiO2/Si(100))和石英玻璃上生长出了MgxZn1-xO(x＞0.5)晶体薄膜,并用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)图谱和紫外-可见光透射光谱对其进行了表征.结果表明,在SiO2/Si(100)和石英玻璃衬底上沉积的MgxZn1-xO(x＞0.5)晶体薄膜表面平整,均呈立方结构,且具有高度的(001)择优取向.立方MgxZn1-xO薄膜具有从紫外到近红外波段良好的透明性,折射率为1.7～1.8,随着波长的增大或Mg组分的增大而降低.
关键词:
无机非金属材料
,
MgxZn1-xO晶体薄膜
,
低温物理沉积
,
立方相MgxZn1-xO
,
折射率
