李位勇
,
顾豪爽
,
张凯
,
胡明哲
,
胡光
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.05.016
采用一维Mason模型,研究了体声波谐振器的频率特性,探讨了压电薄膜AlN和上电极膜厚对谐振频率的影响,压电参数d33及压电薄膜与电极的厚度比率对机电耦合系数的影响,同时研究了谐振区域的面积和声能在衬底中的损耗对品质因数的影响.测量的体声波谐振器频率特性曲线与模拟结果吻合的较好.
关键词:
体声波谐振器
,
Mason模型
,
压电薄膜
,
频率特性
汤亮
,
李俊红
,
郝震宏
,
乔东海
,
汪承灏
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.04.016
采用直流磁控溅射的方法制备了ZnO压电薄膜,并在双面抛光的熔融石英基片上制备了高次谐波体声波谐振器.x射线衍射结果显示ZnO压电薄膜C轴择优取向明显,衍射峰半高宽为0.1624°,显示出较好的结晶质量;扫描电镜分析观察到ZnO垂直于基片表面的柱形晶粒结构和较平滑的薄膜表面.体声波器件的电学测试结果显示器件具有很好的多模谐振特性,说明ZnO压电薄膜很好地激发出了厚度方向的纵声波,可应用于体声波器件和声表面波器件中.另外采用间接的方法得到ZnO压电薄膜在870MHz时的介电常数约为5.24,介电损耗因子为1.07,进一步减小介电损耗因子,可以提高器件的Q值.
关键词:
氧化锌薄膜
,
压电
,
磁控溅射
,
X射线衍射
,
体声波谐振器
