陈文彬
,
李国栋
,
胡琛
,
闫思家
,
芮大为
,
赵启义
功能材料
通过对有机气相沉积中气体的传输过程进行模拟,略述了OVPD传输的基本机制。利用蒙特卡洛法对有机蒸气通过掩膜孔的动力学沉积过程进行仿真,仿真结果表明薄膜的形状受沉积参数的影响,例如,分子平均自由程（沉积压强）、掩膜板的尺寸以及掩膜板至基板的距离。分析表明,通过缩小掩膜板至基板的距离,同时减小沉积压强可以提高所成薄膜图案的分辨率,减小掩膜板的厚度可以提高材料的使用效率。
关键词:
有机气相沉积
,
蒙特卡洛
,
沉积参数
,
分辨率
付盛荣
,
熊斌
,
车录锋
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.04.012
主要研究了大角速度信号输入对栅结构振动式微陀螺及其检测电路分辨率的影响.在0.01-200o/s的动态范围内,按照设计值,陀螺器件与检测电路组成的系统能够分辨0.01o/s的输入角速度变化.考虑到驱动电压和积分电容与敏感电容的特性差异的影响后,当输入角速度大于10o/s时,整个系统即无法分辨0.01o/s的输入角速度变化.针对这种情况,提出了在传感器件上集成关键元件的方法来解决大角速度信号输入下整个系统分辨率降低的问题.
关键词:
陀螺
,
电容式
,
检测
,
分辨率
张霞
功能材料与器件学报
随着微机械加工技术的不断进步以及微机械加速度计市场占有率的逐步扩大,各种类型的微机械加速度计层出不穷,其中以电容检测式微机械加速度计发展的最为迅速且产业化水平最高,其次是压阻式、压电式、热对流式、隧道电流式、谐振式,以及近年来成为研究热点的光学式加速度计.本文详细阐述了国内外已报道的各种类型微机械加速度计的结构、原理、制造工艺和性能指标,并对不同精度微机械加速度计的产业化发展现状和市场应用情况进行了总结.新材料、新机理、纳米尺度、智能化以及更高的性能指标将是今后几年微机械加速度计的主要发展趋势,也将在MEMS/NEMS领域掀起新一轮的研究热潮.
关键词:
MEMS
,
微机械
,
加速度计
,
噪声
,
分辨率
,
灵敏度
祝清德
,
王训四
,
聂秋华
,
姜晨
,
朱敏鸣
,
廖方兴
,
张培全
,
张培晴
,
吴越豪
硅酸盐通报
硫系光纤传像束作为一种红外图像的传输媒质,就是通过光纤将红外光学图像直接从一端传输到另一端,不需要经过传统光纤通信中所需的光电信号转换过程.光纤束传像的基本原则是保证图像像元间互不干扰的独立传输,扩充了光纤只能传输光信号而不能传输图像的功能.类似于可见光波段采用塑料光纤或石英光纤传像,红外图像的传输可以采用红外光纤传像束.在红外光纤和光纤传像束的发展过程中,红外硫系光纤传像束以其特有的红外光学应用优势和不可替代的成纤特性,具备广泛应用于医学、工业、科研、军事、航天等众多科学技术领域的潜力.本文在归纳光纤传像束与其它传像系统相比所具有的优势的基础上,又讨论了影响硫系光纤传像束传像性能的多种因素,并阐述了硫系光纤传像束的特点、应用及其目前面临的主要问题和未来发展趋势.
关键词:
红外光纤传像束
,
像元
,
酸溶法
,
叠片法
,
分辨率
陈宁
,
杨林
,
张胜文
,
刘敬成
,
刘晓亚
高分子材料科学与工程
经溶胶-凝胶法制得纳米SiO2,用不同结构的双键硅烷偶联剂对其表面进行原位接枝改性,得到两种光敏纳米SiO2（M70SiO2和M50SiO2）,并将其添加到紫外光固化丙烯酸酯预聚物中,制得杂化光致抗蚀材料。通过测定光敏参数（D0n.5）考察其光敏性知,杂化光致抗蚀材料光敏性明显增加,当光敏纳米SiO2的质量分数增至13.7%～15.8%时,光敏参数达25 mJ/cm2～27 mJ/cm2;用差示扫描量热仪（DSC）及热机械分析（TMA）考察抗蚀材料的热性能,结果显示,随光敏纳米SiO2用量增加Tg升高,热膨胀系数减小,同时分辨率和精密性并未因光敏纳米SiO2的加入而降低。
关键词:
光敏纳米SiO2
,
光致抗蚀材料
,
杂化
,
光能量敏感度
,
分辨率
晏磊
,
景欣
,
杨彬
影像科学与光化学
阐述了成像技术发展的3个阶段:机械电子化、自动化、数字成像阶段.具体包括胶片式向磁记录式的转变,胶片式与数字式的兼容,数字式的空间、辐射、光谱和时间分辨率成像的前沿技术.提出由部件到系统的成像自动处理控制理论,并阐述了未来成像技术的发展趋势.
关键词:
成像技术
,
胶片
,
磁记录成像
,
数字成像
,
分辨率
,
自动控制
刘敬成
,
郑祥飞
,
林立成
,
穆启道
,
孙小侠
,
刘晓亚
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2015.03.230
以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、N-苯基马来酰亚胺(N-PMI)、甲基丙烯酸环己基酯(CHMA)为反应单体,通过自由基共聚合成了一系列共聚物PMMNC,然后与甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)反应制备了甲基丙烯酸酯共聚物G-PMMNC.利用傅立叶红外光谱(FT-IR)、核磁共振氢谱(1HNMR)、凝胶渗透色谱(GPC)、差示扫描量热(DSC)等表征了共聚物的结构与性能.随着N-PMI含量的升高,共聚物的分子量增大,玻璃化转变温度升高;以G-PMMNC为基体树脂制备了光致抗蚀剂,考察了光致抗蚀剂的耐酸性和分辨率,研究结果表明,该光致抗蚀剂的耐酸性良好,分辨率为40 μm.
关键词:
N-苯基马来酰亚胺
,
甲基丙烯酸酯共聚物
,
光致抗蚀剂
,
分辨率
蔡建
,
石立华
,
袁慎芳
复合材料学报
针对传统时间反转（TR）方法消除Lamb波传播时间和操作复杂的问题，提出了虚拟时间反转（VTR）方法。该方法采用换元激励和接收机制以保留时间信息，并运用信号运算代替物理TR操作。讨论了基于阶跃激励获取损伤监测路径传递函数的VTR实现过程。提出了基于VTR的高分辨率损伤成像方法。为了降低复合材料各向异性的影响，在成像中进行了速度修正。实验结果表明，VTR方法能对碳纤维复合材料板中的Lamb波损伤散射波包进行部分再压缩和TR聚焦，通过本文中成像方法也能清晰显示出板中单个和两个近邻损伤。
关键词:
复合材料
,
Lamb波
,
时间反转
,
损伤成像
,
分辨率
李虎
,
牛文琪
,
王鸿梅
,
黄超群
,
李建权
,
沈成银
,
江海河
,
储焰南
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2012.01.002
报道了自主研制的光电离-离子迁移谱装置的基本结构和性能.采用10.6 eV Kr灯为电离源,以苯为检测样品,对迁移电场电压、离子门电压和脉冲宽度参数进行优化,得到最佳装置参数为离子门脉冲宽度0.15 ms,离子门电压80 V,迁移区电压2153 V.使用指数稀释方法制备样品浓度,获得了离子迁移谱检测苯的标准曲线,对苯的检测限为400 ppt,检测线性动态范围跨越三个数量级.
关键词:
光谱
,
离子迁移谱
,
光电离
,
苯
,
分辨率
