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陈祝 , 杨邦朝 , 杨成韬 , 张树人
功能材料
采用醋酸铅、硝酸氧锆(硝酸锆)、钛酸丁酯独立稳定的前驱单体,sol-gel法旋转涂膜技术制备了PZT铁电薄膜.研究了水的添加量对溶胶形成的影响,比较了不同的溶胶浓度、膜层结构(PT/PZT/PT Sandwich)及热处理工艺条件对薄膜结构、铁电性能的影响.
关键词: PZT , sol-gel法 , 前驱单体 , 铁电薄膜
