李位勇
,
顾豪爽
,
张凯
,
胡明哲
,
胡光
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.05.016
采用一维Mason模型,研究了体声波谐振器的频率特性,探讨了压电薄膜AlN和上电极膜厚对谐振频率的影响,压电参数d33及压电薄膜与电极的厚度比率对机电耦合系数的影响,同时研究了谐振区域的面积和声能在衬底中的损耗对品质因数的影响.测量的体声波谐振器频率特性曲线与模拟结果吻合的较好.
关键词:
体声波谐振器
,
Mason模型
,
压电薄膜
,
频率特性
李健雄
,
杨成韬
,
王锐
,
张树人
材料导报
无线通讯系统向高频率、高可靠性的发展要求声表面波滤波器(SAWF)同时具备高声速、高机电耦合系数、低插入损耗、高温度稳定性,而多层结构SAWF能够满足这些要求,因此多层结构SAWF近年来引起了人们极大的关注,并取得了较大的进展.简述了SAWF的基本结构和原理,回顾了近年来多层结构SAWF的研究进展,包括理论研究和实验研究,展望了其今后的发展趋势.
关键词:
多层结构
,
声表面波滤波器
,
压电薄膜
,
金刚石
蒋松涛
,
吴孟强
,
吴勇
,
张树人
材料导报
薄膜体声波谐振器及滤波器具有工作频率高、工艺简单、尺寸小、易于集成等优点,成为目前应用于高频通信前置滤波器的首选.系统介绍了用于薄膜体声波谐振器的几种主要材料(AlN、ZnO、PZT)的具体特点、制备工艺及薄膜体声波谐振器与滤波器的结构、设计及其应用.
关键词:
体声波
,
谐振器
,
滤波器
,
压电薄膜
娄利飞
,
杨银堂
,
李跃进
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.06.018
对硅基锆钛酸铅(PZT)压电薄膜微开关进行了结构和版图设计,根据MEMS加工工艺和标准硅基IC工艺的特点,获得了硅基PZT压电薄膜微悬臂梁结构系统工艺流程中的关键工艺技术和典型工艺条件,对多孔硅的选择性生长进行了较为详细的实验研究,最后成功的制备出硅基PZT压电薄膜微开关样品,这对集成化芯片系统的进一步发展打下了必要的良好的实验基础.
关键词:
锆钛酸铅(PZT)
,
压电薄膜
,
微开关
,
多孔硅
刘吉延
,
斯永敏
材料导报
介绍了AlN压电薄膜的研究现状,着重突出了AlN薄膜的制备方法、择优取向结构及表面形貌等方面的研究,尤其对脉冲激光沉积工艺(PLD)镀膜的基本原理和过程、分别采用周期价键链(PBC)理论和断键模型对薄膜晶面择优取向机理的分析作了较为详细的探讨.最后简单讨论了AlN压电薄膜研究的发展趋势.
关键词:
AlN
,
压电薄膜
,
择优取向
,
脉冲激光沉积
刘罡
,
朱嘉琦
,
王赛
,
陆晓欣
,
刘远鹏
,
霍施宇
,
袁欣薇
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.01233
固贴式薄膜体声波谐振器(SMR-FBAR)技术是近年来电子工业领域里的突破性技术,具有2GHz以上的工作频率、极高的的品质因子及良好的机械稳定性等众多的优异特性.基于其独特的优越性,固贴式薄膜体声波谐振器成为了科研工作者们关心的热点,并在第三代无线通信系统中已得到广泛应用,例如作为基本单元用来制作滤波器、双工器和振荡器等第三代无线通信系统中的频率选择器件.器件选用的材料体系是决定器件性能的关键因素.本文以器件结构为线索,综述了固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系的研究进展,包括压电薄膜(氮化铝、氧化锌等)、高/低声阻抗材料以及电极薄膜,讨论了材料性能和器件性能的关系,并对材料体系下一步的研究方向进行了展望.
关键词:
固贴式薄膜体声波谐振器
,
压电薄膜
,
布拉格反射栅
,
电极薄膜
,
综述
杨晓朋
,
宋平新
,
王新昌
,
姚宁
,
张兵临
材料导报
移动通信技术的迅猛发展扩大了高频声表面波(sAw)器件的应用范围,金刚石因具有最高的声表面波传播速度而使得压电薄膜/金刚石多层结构成为高频声表面波器件的首选材料.综述了ZnO/diamond、A1N/diamond和LiNbO3/diamond多层结构声表面波特性理论研究及实验研究进展,并展望了其今后的发展趋势.
关键词:
压电薄膜
,
金刚石
,
声表面波
