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低量程高线性压阻式微机械加速度传感器

金虎 , 陆德仁 , 沈绍群 , 鲍敏杭

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.02.006

介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地 介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度,传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有 横向效应进行了计算,结果表明此种结构的三种横向效应主要是由于质量块(岛)质心偏离梁中平面, 沿梁伸展方向( x向)惯性力分量产生的弯矩所致。提出了调整上下盖板与中间质量块之间的气隙改 善器件频响特性的方法。报道的压阻式微机械加速度传感器量程± 1g(g为重力加速度 ),线性度优 于 0.05%,灵敏度约 1mV/gV,阻尼比 0.7,带宽 110Hz。

关键词: 加速度传感器 , 压阻式 , 横向效应 , 空气阻尼

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