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无氰脉冲电镀金工艺及其在空腔靶中的应用

万小波 , 周兰 , 肖江

电镀与涂饰 doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2006.02.013

提出采用脉冲电镀在无氰亚硫酸盐体系中制备镀金层并应用在空腔靶上.讨论了电流密度、pH、温度及脉冲占空比对电镀过程及镀层性能的影响.结果发现,当占空比在1∶ (9~18)时,镀层最细致、光滑,粗糙度在30 nm左右.采用原子力显微镜观测了该工艺处理后的空腔的形貌.由此工艺获得的金腔结构稳定,均匀致密,精度良好且外观光亮.

关键词: 惯性约束聚变 , 空腔靶 , 无氰 , 脉冲电镀 , 镀金 , 占空比 , 原子力显微镜 , 金腔

碳靶电流对CrCN镀层摩擦系数的影响

胡鹏飞 , 蒋百灵 , 李洪涛

功能材料

采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术于单晶硅和M2高速钢基片上制备CrCN镀层以研究C靶电流对CrCN镀层摩擦系数的影响,并通过能谱、原子力显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱分析了C元素的存在状态及其对CrCN镀层组织结构的影响规律.结果表明,当碳靶电流Ic从0A增大到1-5A时,镀层摩擦系数从0.75降至0.3,镀层中碳含量也随之增大,镀层表面晶粒直径变小,粗糙度也明显变小,Ic=1.5A时镀层表面粗糙度仅为Ic=0A时的7.4%.X射线光电子能谱分析表明,镀层中碳元素主要以C-C、C-Cr、C-O键形式存在,其中以C-C键形式存在的自由碳,能起到固体润滑的作用,可显著减低镀层的摩擦系数.

关键词: 磁控溅射 , CrCN镀层 , 摩擦系数 , 原子力显微镜 , X射线衍射 , X射线光电子能谱 , 碳键

哈氏合金表面粗糙度AFM测量中扫描尺度等问题研究

冯峰 , 瞿体明 , 肖绍铸 , 张燕怡 , 史锴 , 韩征和

稀有金属 doi:10.13373/j.cnki.cjrm.2014.02.007

哈氏合金Hastelloy C276是一种被广泛应用的镍基合金,具有机械性能优良、抗腐蚀能力强等优势,在第二代高温超导导线的离子束辅助沉积(IBAD)技术路线中被用作金属基底,因此其表面抛光与粗糙度测量受到了广泛重视.哈氏合金的表面形貌和粗糙度测量一般采用原子力显微镜(AFM)方法,在该方法中扫描尺度对测量结果具有显著的影响.本研究对两个分别进行了电化学抛光和机械抛光的哈氏合金带材短样,在1 ~ 70 μm范围内选取不同扫描尺度进行了AFM测量,从而对其表面形貌获得了全面的了解,并发现其表面粗糙度随着扫描尺度的变大出现了明显的增大,文中还在不同扫描尺度下考察了电化学抛光与机械抛光的作用区别.此外,本研究中分析了AFM图像的后处理中flatten阶数的影响,对从AFM图像中分割出小尺度局域计算粗糙度的方法进行了改进,并讨论了AFM测量粗糙度的可重复性问题.通过这些研究,对表面粗糙度的AFM测量方法在全面性和有效性方面进行了完善,提出了粗糙度描述时有必要给出的相关参数.

关键词: 原子力显微镜 , 哈氏合金 , 表面粗糙度 , 扫描尺度 , 抛光

钛酸锶钡(BST)薄膜晶化过程研究

孙晓峰 , 姜斌 , 蒋书文 , 张鹰 , 王恩信 , 李燕 , 黄文

材料导报

采用射频磁控溅RF-magnetron sputting)法制备了钛酸锶钡(BST)薄膜,用快速热处理(RTA)和常缮规热处理(CFA)对薄膜进行晶化.利用AFM、XRD等技术分析了钛酸锶钡薄膜的晶化过程,以及不同退火温度和退火方法下薄膜的晶粒、晶相特性.实验表明:钛酸锶钡薄膜在500℃开始结晶,到700℃左右时结晶比较完善,晶化过程中没有出现择优取向;从表面形貌和X射线衍射图综合分析,快速退火的晶化效果要优于常规退火.

关键词: 钛酸锶钡 , 快速退火 , 常规退火 , 原子力显微镜 , X射线衍射

基于原子力显微镜的薄膜原位压痕力学性能研究

杜圆明 , 张跃飞 , 张长辉 , 刘燕萍

稀有金属材料与工程

基于原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)建立了一套原位纳米压痕测试系统.该系统可以实现控制带有金刚石(Cube corner)压头的AFM微悬臂梁对样品进行压入实验,并得到载荷-位移曲线,同时可以对压痕过程进行原位SEM实时观察.发展了一种基于AFM微悬臂梁加载和原位SEM压痕图像分析的力学性能测试方法,通过测量压入最大载荷和原位SEM测量压痕残余面积得到塑性薄膜的硬度和弹性模量.利用此方法对磁控溅射硅衬底上纳米晶银薄膜进行了压痕实验,并与Nanoindenter G200型纳米压痕仪实验进行对比研究.结果表明,原位AFM压痕方法具有高的载荷和位移分辨率,可以实现纳牛至微牛级的压痕实验,通过测量压痕面积得到塑性薄膜的硬度值,减小了使用Oliver-pharr方法中软膜硬基底上凸起(Pile-up)效应的影响,计算结果也具有好的测试精度和可靠性.

关键词: 原子力显微镜 , 纳米压痕 , 硬度 , 弹性模量

远离临界组成的聚甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯-丙烯腈无规共聚物共混薄膜表面相分离动力学

陶荟春 , 朱豫 , 由吉春

应用化学 doi:10.11944/j.issn.1000-0518.2016.08.150362

采用温控原子力显微镜方法,在线跟踪了远离临界组成聚甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯-丙烯腈无规共聚物(PMMA/SAN)共混薄膜的表面相分离行为,并研究了其动力学规律。结果表明,在SAN含量为70%的样品中观察到了表面相分离行为,其过程可分为早期、中期和晚期3个阶段,分别对应特征化的标度指数:早期结果验证了Cahn线性理论,即标度指数为零;中期相行为主要受“碰撞-扩散”机理控制,因此表现出1/3的标度指数;在相分离后期,流体动力学主导了相区的生长和归并行为,此时标度指数变为2/3。我们的研究结果对于深刻理解高分子相行为具有积极作用,并将对高分子薄膜加工提供必要的指导。

关键词: 共混 , 相分离 , 动力学 , 原位 , 原子力显微镜

RF溅射钕掺杂ZnO薄膜工艺与结构研究

文军 , 陈长乐 , 潘峰

功能材料

通过射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上制备了未掺杂和Nd掺杂ZnO薄膜,研究了衬底温度、氧分压以及Nd不同掺杂浓度等工艺参数对薄膜的影响.薄膜的结构和表面形貌通过XRD分析和AFM观测,表明制备的薄膜为ZnO:Nd纳米多晶薄膜,其表面形貌粗糙,不同沉积条件对薄膜生长有很大的影响.在纯氩气氛中、衬底温度为300℃的条件下,ZnO:Nd薄膜具有c轴择优取向.

关键词: Nd掺杂 , ZnO薄膜 , X射线衍射分析 , 原子力显微镜 , 射频磁控溅射

La0.67Sr0.33MnO3/La0.75MnO3/La0.67Sr0.33MnO3庞磁电阻三层膜的制备及结构形貌和性能

李合琴 , 何晓雄 , 方前锋

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2004.02.011

用磁控溅射法在(001)取向的LaAlO3单晶基片上制备了La0.67Sr0.33MnO3/La0.75MnO3/La0.67Sr0.33MnO3外延三层膜.结果表明, 与La0.67Sr0.33MnO3单层膜相比较, 外延三层膜的X射线衍射图上出现3级衍射峰, 每级衍射峰由3个峰组成:其中强度最高的衍射峰代表衬底的衍射;次强的代表上下两层La0.67Sr0.33MnO3膜;最弱的代表中间La0.75MnO3层.三层膜的二维原子力表面形貌为均匀的小颗粒状, 表明其三维形貌为外延岛状柱状晶.这种三层膜的巨磁电阻效应与中间层La0.75MnO3的厚度有关, 当中间层厚度为70 nm时, 其最大磁电阻值可达到32%, 这个结果优于La0.67Sr0.33MnO3 单层膜的巨磁电阻效应.其可能的原因是电子在界面上的散射、层间的交互作用, 以及点阵错配导致的内应力的综合结果.

关键词: 材料工程 , 三层膜 , X射线衍射 , 原子力显微镜 , 庞磁电阻 , 磁控溅射

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