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刘璨 , 兰惠清
机械工程材料
使用Abaqus有限元软件通过加载荷与加载位移两种方法对含硅类金刚石膜进行了压痕测试模拟,得到了不同硅含量类金刚石膜的硬度曲线。结果表明：两种方法的模拟结果较吻合,其中加载位移的方法较稳定,速度较快,含硅类金刚石膜的硬度随着硅含量的增加而减小;模拟结果得到了相关试验的验证。
关键词: 含硅类金刚石膜 , 硬度 , 有限元 , 压痕
