蔡苗
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唐安江
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王乐深
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何元琴
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何磊
硅酸盐通报
SiF4多被应用于电子行业和半导体行业,氟硅酸盐制备SiF4是制备方法中的一种.本文介绍了氟硅酸盐的性质,制备方法,以及氟硅酸盐制备SiF4的方法,并对部分氟硅酸盐制备SiF4的条件及产物进行了对比.
关键词:
四氟化硅
,
氟硅酸盐
,
分解
,
工艺
陈学航
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李焱
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张建刚
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高文龙
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曹旭
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陈烨
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刘振东
硅酸盐通报
四氟化硅(SiF4)是电子和半导体行业中的一种重要原料,在光伏产业中占重要地位.详细介绍了四氟化硅的主要制备方法:硫酸法、Si-F2直接合成法、氟硅酸盐热解法和氢氟酸法,并对四氟化硅提纯工艺进行了比较.
关键词:
四氟化硅
,
氟硅酸盐法
,
提纯
