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YSZ薄膜的制备及应用

潘礼庆 , 王岭 , 孙加林 , 洪彦若

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.019

研究了在NASICON基板上使用溅射法制备的YSZ薄膜的结构、晶相和导电性,实验表明,刚制备的YSZ薄膜经750℃常规退火处理后,薄膜表面致密、均匀、无裂纹,具备良好的导电性能.YSZ/NASICON组合再加上Ba(NO3)2辅助电极构成的NOX气体传感器在450℃下响应迅速(响应时间约为3min)、稳定,能检测到10ppm量级的NO2气体.

关键词: YSZ薄膜 , 固体电介质 , 电导率 , 气体传感器 , 溅射镀膜

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