赵洪力
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刘起英
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杨静凯
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刘艳丽
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张福成
稀有金属材料与工程
采用常压化学气相沉积法(APCVD),以有机金属化合物-单丁三氯化锡(C4H9SnCl3,MBTC)和三氟乙烯(CF3COOH,TFA)为前驱物和掺杂剂,以水为催化剂,在线制备了F掺杂的SnO2膜;采用XRD、SEM、椭偏仪等方法研究催化剂H2O的用量对薄膜的结构和光电性能的影响.结果表明,H2O可促进反应混合气体在基板表面的热分解反应,加速薄膜沉积速率,提高薄膜结晶性能.
关键词:
低辐射玻璃
,
在线镀膜
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SnO2膜
,
H2O
赵洪力
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刘起英
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韩冰
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蔡永秀
,
荆天辅
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张福成
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2006.06.018
分别采用电化学方法和化学气相沉积法对生产线锡槽和退火窑内的浮法玻璃两次镀膜,制备出具有阳光控制功能的双层彩色浮法玻璃,采用分光光度计、扫描电镜、能谱仪、透射电镜、原子力显微镜和二次离子质谱等方法分析了复合镀膜样品的形貌、结构,研究了不同深度的膜层成分和性能.结果表明,可见光透射比与硅烷浓度和电流强度之间有强烈依赖性;上层的硅膜表面均匀平整,表面粗糙度约9.66 nm,团粒尺寸约100 nm,其厚度约70～78 nm,且沿厚度方向呈梯度化氧化;底层膜中铜和铋的扩散深度约10μm.
关键词:
无机非金属材料
,
浮法玻璃
,
在线镀膜
,
双层复合膜
,
化学气相沉积
,
阳光控制镀膜
