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ZnO半导体薄膜的研究进展

吕承瑞 , 王小平 , 王丽军 , 雷通

材料导报

介绍了制备氧化锌薄膜的几种主要方法,包括磁控溅射法、化学气相沉积法、溶胶-凝胶法、激光脉冲沉积法等;分析了氧化锌薄膜作为代替透明导电膜(ITO膜)的可行性及这方面的研究进展;阐述了氧化锌薄膜作为一种新的场发射阴极材料应用于平板显示或作为场发射电子源的研究进展,同时综述了其作为发光器件的众多优势.

关键词: ZnO半导体薄膜 , ITO膜 , 场发射阴极材料 , LED