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应力补偿技术在InAs/GaAs量子点中的研究现状

赵沛坤 , 涂洁磊

材料导报

通过在多层量子点体系中引入应变补偿层,改变量子点系统的应力场分布,可以控制生长过程中量子点的大小均匀性和密度,最终获得高质量、高密度的多层量子点体系,应用到量子点光电器件中,可改善器件的电学和光学性能.介绍了应变补偿层在量子点体系中作用的原理,常用的应变补偿材料体系,以及目前国内外对应变补偿技术的研究状况,最后提出了现存的问题和今后的发展方向.

关键词: InAs量子点 , 应变补偿技术 , 太阳电池