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CuO-ZnO异质结半导体陶瓷气敏机理的研究

胡英 , 周晓华 , 魏红军

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.028

CuO-ZnO异质结气敏传感器是一种新型的气敏传感器,它有成本低、工艺简单、检测方便等众多优点.本工作主要研究了CuO和ZnO不同比例情况下,该传感器的气敏性能.测试了它的阻温特性及在不同温度、不同气氛条件下器件的灵敏度,并从理论上对测试结果及敏感机理进行了分析和讨论.

关键词: 气敏传感器 , 异质结CuO-ZnO半导体陶瓷

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