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徐伟 , 彭毅雯 , 肖光辉
液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20112605.0612
未确认Mura是一种能够影响TFT-LCD画面品质的不良.文章对未确认Mura不良进行了详细的分析,认为扇形区域出现有源层残留是导致未确认Mura不良发生的原因,介绍了一种通过变更曝光工艺条件来解决此种不良的方法,并通过试验论证了此方法的量产可行性.
关键词: 未确认Mura , 扇形区域 , 有源层残留 , 曝光工艺条件
徐伟 , 彭毅雯 , 雷有华 , 邱海军
液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20132804.0539
研究了产品开发过程中新出现的一种原因未知的横向线状Mura问题.通过分析和改善研究表明,Gate Fan-out区域栅极线金属交替布线设计中不同金属层线电阻差异是导致横向线状未确认Mura发生的主要原因；通过变更栅极线金属层厚度及材料,以降低整体电阻和不同金属层线电阻差异可以解决此种不良现象；并通过试验论证此方法的量产可行性.
关键词: 横向线状Mura , 扇形区域 , 栅极线金属层交替布线
