欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(2)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

熔石英元件抛光加工亚表面缺陷的检测

王洪祥 , 朱本温 , 王景贺 , 侯晶 , 陈贤华

材料科学与工艺 doi:10.11951/j.issn.1005-0299.20150202

亚表面缺陷的准确检测是进行亚表面损伤研究的前提和基础,对保证光学元件加工质量至关重要。基于HF酸化学蚀刻法对熔石英元件抛光加工产生的亚表面水解层、缺陷层深度和亚表面损伤形貌进行了定量检测,并利用X射线荧光光谱法研究了熔石英抛光试件杂质元素的种类和元素含量沿深度分布规律,提出了熔石英元件抛光加工亚表面损伤深度的判定方法。研究表明:由于水解层和亚表面缺陷层的存在,熔石英抛光试件的蚀刻速率随着时间的增加呈现递减的趋势,且在蚀刻的初始阶段蚀刻速率下降尤为明显;当蚀刻深度超过某一特定值后,全部或部分覆盖在水解层以下的缺陷层将会被完全蚀刻去除,蚀刻速率基本保持不变;另外,熔石英抛光试件存在多种形式的表面及亚表面缺陷,在不同蚀刻深度,亚表面损伤形貌、划痕的宽度和深度也存在一定的差异。

关键词: 熔石英元件 , 亚表面缺陷 , 抛光加工 , 损伤形貌 , 划痕

脉冲电化学光整加工工艺的基础实验研究

安军 , 李洪友 , 王晓明 , 周锦进

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2003.01.007

在分析研究脉冲电化学光整加工原理的基础之上,结合实际进行了实验设计.该实验采用非线性电解液和脉冲电流进行加工,取得了较好的加工效果,验证了脉冲电化学加工的优越性和可行性.

关键词: 脉冲电化学 , 抛光加工 , 光整加工

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词