郑嘹赢
,
徐明霞
,
刘丽月
,
徐廷献
,
董向红
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2000.z1.042
以钛酸丁酯为原料,无水乙醇为溶剂,添加适量稳定剂制成稳定溶胶,用浸涂法在Al2O3基片上制备TiO2薄膜,经1000℃H2下还原制得TiO2-x薄膜,在钼酸铵溶胶中浸泡一定时间得到掺钼薄膜.实验结果表明掺钼薄膜元件在800℃下的氧敏感性和重复性比未掺杂时提高,TiO2-x薄膜的电阻的温度稳定性好.通过对薄膜的XPS分析探讨了钼在薄膜中的作用机理.
关键词:
掺钼
,
TiO2-x
,
薄膜
,
氧敏元件
