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WOx薄膜结晶特性的HREM和STM研究

燕峰 , 王晓光

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.1999.05.012

对反应溅射沉积的WOx薄膜在电致变色反应中结晶性能的变化进行了研究.结果表明:电致变色反应增加了薄膜的晶体特性,使着退色WOx薄膜的选区电子衍射呈现明显的多晶环特性,而原始沉积态WOx薄膜为非晶光晕衍射特性.STM分析得知,电致变色反应使薄膜的表面形貌也发生了剧烈的变化.

关键词: 电致变色反应 , 晶体特性 , HREM , STM