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硅芯制备技术及对沉积多晶硅棒杂质的影响

史冰川 , 董俊 , 李昆 , 黄磊 , 亢若谷 , 邱建备

材料科学与工程学报 doi:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.03.037

本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术.简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过程中的杂质分凝、挥发及坩埚污染进行了比较.根据分析结果,采用区熔硅芯能在一定程度上降低硅芯对硅棒的杂质贡献.

关键词: 硅芯 , 杂质分凝 , 杂质挥发 , 坩埚污染

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