材料期刊网

阳极氧化制备氧化钛薄膜原理剖析

廉冰娴 , 许兵

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2010.04.014

通过实验制备了几种不同厚度的氧化钛薄膜,从膜的形成机理及氧化着色原理,得出薄膜厚度随电压增加而增加,且其增加速率大致在2.5 nm/V.重点剖析了氧化钛薄膜的氧化着色原理,并通过实验模拟分析了氧化膜形成机理,为后续研究提供了参考.

关键词: 阳极氧化 , 氧化薄膜 , 厚度 , 原理剖析 , 模拟