李春光
,
王飞
,
安涛
,
王东新
中国材料进展
doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2013.12.07
近年来，国内外一些研究者对添加剂元素与铝元素共掺杂的 ZnO 薄膜开展了许多研究并发现在 AZO薄膜掺入添加剂元素不仅会增强AZO薄膜的光电特性，而且还能优化其晶体结构和表面形貌，某些添加剂元素还可以提高AZO薄膜的多项性能和稳定性，这对研究 AZO 薄膜性能的提高提供了一个更具潜力的研究方向。介绍了 AZO 薄膜的基本结构、基本特性以及光电性能原理。对添加剂元素对 AZO薄膜结构的研究和光电性能的研究进行了归纳和总结，并且与 AZO 薄膜进行了对比。综述了添加剂元素掺入的AZO薄膜目前所采用的磁控溅射法、溶胶-凝胶法和脉冲激光法三种主要制备技术以及其优缺点，同时阐述了不同方法掺入添加剂元素的 AZO 薄膜的研究进展。最后介绍了添加剂元素掺入的AZO薄膜在光电领域的应用，展望了其未来发展与研究趋势。
关键词:
AZO薄膜
,
添加剂元素
,
光电性能
,
薄膜性能
