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基于建模与优化的MOCVD温度均匀控制

许力 , 鲁二峰 , 周峰

人工晶体学报

为了提高MOCVD反应室衬底温度均匀性,提出一种基于建模和优化的控制策略.采用神经网络建立反应室温度特性模型,得到输入功率与反应室衬底温度场之间的关系,在此基础上,以温度均匀性为性能指标,采用仿生优化算法对输入功率配比进行优化,实现MOCVD反应室衬底温度的均匀控制.仿真结果验证了所提出方法的有效性.

关键词: MOCVD , 温度均匀性控制 , 建模 , 仿生优化