王天生
,
田永君
,
于栋利
,
迟振华
,
胡前库
,
罗晓光
稀有金属材料与工程
用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在蓝宝石基片上原位制备了MgB2超导薄膜,并用XRD、SEM和dc SQUIDs研究了基片温度和时间对薄膜相组成、表面形貌和超导临界转变温度Tc的影响.结果表明,HFCVD原位生长MgB2薄膜可以抑制MgO杂质的生成.基片温度在500℃以下,MgB4杂相容易出现;在500℃以上时,可以消除MgB4杂相;在600℃时,获得了纯单相的MgB2薄膜,其超导临界转变温度达到36 K.随基片温度升高,薄膜结晶性、致密度和超导临界转变温度提高.
关键词:
MgB2薄膜
,
微观结构
,
超导电性
,
热丝化学气相沉积
杨树敏
,
贺周同
,
朱德彰
,
巩金龙
,
周兴泰
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2009.04.017
在热丝化学气相沉积体系中,系统研究了气压对CH4/H2/Ar气氛中纳米金刚石薄膜生长的影响.研究发现,体系气压对纳米金刚石的生长有很大的影响.在40torr的气压下,在CH4/H2/Ar气氛中的Ar气含量需高达90%才能保证纳米金刚石薄膜的生长,但降低气压至5torr时,50%的Ar气含量即可保证纳米金刚石薄膜的生长.压力对薄膜生长表面的气体浓度的影响是这个转变的主要原因.在同样的Ar含量下,在5torr下的C2活性基团的浓度高于40 torr的浓度,因而低的Ar含量会保证纳米金刚石薄膜的生长.
关键词:
纳米金刚石薄膜
,
热丝化学气相沉积
,
压力
,
Ar浓度
汪爱英
,
柯培玲
,
孙超
,
黄荣芳
,
闻立时
新型炭材料
doi:10.3969/j.issn.1007-8827.2005.03.007
在传统工业型热丝化学气相沉积(HFCVD)反应腔内,相关工艺参数取模拟计算优化值的条件下,采用XRD,SEM及Raman光谱等分析手段研究了单晶Si (100)上较大面积金刚石薄膜的动力学生长行为,讨论了晶格取向的变化规律.结果表明:优化工艺参数条件下,在模拟计算的衬底温度和气体温度分布均匀的区域内,沉积的金刚石薄膜虽存在一定的内应力,但整体薄膜连续、均匀,几何晶形良好,质量较高,生长速率达1.8 μm/h.薄膜生长过程中晶形显露面受衬底温度和活性生长基团浓度的影响较大.
关键词:
热丝化学气相沉积
,
金刚石薄膜
,
动力学生长
,
模拟计算
刘勇
,
曹勇
,
董刚强
,
郭宇坤
,
刘丰珍
人工晶体学报
采用铝诱导表面织构方法在玻璃衬底上制备了蜂窝状的凹坑结构;使用热丝化学气相沉积技术在该类衬底上制备了硅薄膜.扫描探针显微镜(SPM)图像表明,通过改变刻蚀时间、刻蚀溶液比例、Al膜厚度和退火时间等制备条件,可以有效控制玻璃表面凹坑结构的尺寸,使其在直径上从0.5μm到6μm,深度上从60 nm到700 nm可调.光吸收谱测试表明此类衬底对硅薄膜的光吸收有着明显的增强效果,以凹坑平均直径为2.3 μm,深度为358nm的铝诱导表面织构玻璃为衬底所制备的厚度为150 nm的硅薄膜,在350～1200 nm波长范围内的光吸收与使用平面玻璃为衬底的样品相比可提高28.5％.凹坑的尺寸大小对光吸收增强效果有重要影响.
关键词:
铝诱导织构
,
热丝化学气相沉积
,
硅薄膜
,
陷光结构
,
玻璃衬底
张俊丽
,
傅杰财
,
郭小松
,
刘滨
,
谢二庆
材料导报
采用热丝化学气相沉积法在玻璃衬底上沉积硅薄膜,采用扫描电子显微镜、拉曼光谱分析表征样品的形貌和结晶性,较为系统地研究了硅烷浓度、衬底到热丝的距离对硅薄膜生长过程及各种性质的影响,结果表明,较高的衬底温度及较低的硅烷浓度有利于薄膜的结晶.
关键词:
热丝化学气相沉积
,
硅薄膜
,
硅烷浓度
,
衬底与热丝距离
,
衬底温度
董伯辉
,
常明
,
李晓伟
功能材料
利用自制的废水处理组件,分别用金属钛膜和金刚石复合膜作阳极对分散蓝2BLN溶液进行处理.比较不同电极处理水中的COD值,并用高效液相色谱仪确定两电极对有机物的处理能力.结果表明,金刚石复合膜作阳极时自清洁能力更强,能更好地维持膜的通透性.延长了金属膜的使用寿命,提高了金属膜的利用率.
关键词:
热丝化学气相沉积
,
高效液相色谱法
,
化学需氧量
,
X射线衍射
,
膜通量
苑奎
,
王婷
,
崔锋
,
倪晋仁
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2015.05.018
目的：研究硼掺杂对改善金刚石膜的电阻率的影响,制备掺硼金刚石膜。方法采用热丝化学气相沉积系统,以CH4,H2,(CH3O)3B混合气体为反应气,在钛片衬底上沉积制备掺硼金刚石膜电极。对不同生长阶段沉积出的电极进行扫描电镜、EDX光电子能谱、激光Raman光谱、X射线衍射、电化学性能表征及废水降解应用研究。结果制备出的掺硼金刚石膜呈现出均匀的(111)晶面,Raman光谱图中金刚石特征峰与硼原子特征峰峰型显著,具有较低的背景电流和更宽的电位窗口(3.5 V),对苯酚废水COD降解效果显著。结论有机污染物的吸附量与电极表面的粗糙度正相关,实验室制备的BDD/Ti电极表面粗糙度小,不利于析氢和析氧等副反应的发生,能降低直接电化学氧化作用,从而得到更宽的电势窗口。
关键词:
热丝化学气相沉积
,
金刚石薄膜
,
掺硼
,
拉曼光谱
,
SEM
,
XRD
汪爱英
,
纪爱玲
,
邹友生
,
孙超
,
黄荣芳
,
闻立时
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2002.06.014
在热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石膜的传统管道反应器中,对不同传热机制下管道壁温度场的空间分布进行了模拟计算.结果表明,管道壁温度场在纯热辐射机制作用下的分布很不均匀;在绝热和恒温的边界条件下考虑热传导作用后,管道壁温度分布的均匀性大大提高;进一步的热对流作用仅提高管道壁的总体温度,并不显著改变管道壁温度场的均匀性分布.
关键词:
热丝化学气相沉积
,
金刚石膜
,
温度场
,
模拟计算
宋贵宏
,
宫骏
,
孙超
,
黄荣芳
,
闻立时
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2000.04.019
本文测量HFCVD生长的金刚石膜的红外透射率.结果表明,膜中的缺陷、杂质和非金刚石相在透射谱中产生吸收带;膜表面的粗糙度和组织形貌对透射率有较大的影响.形核表面面对红外光源时,由于减少表面散射而透射率较高;定向或高取向膜的透射率高于混杂取向膜的透射率,表明晶格取向和晶界分布影响膜的透射性能.
关键词:
金刚石膜
,
热丝化学气相沉积
,
红外透射率
,
晶体形貌
