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史国华 , 张溪文 , 杜丕一 , 韩高荣
材料导报
从制备方法、结构特征和光电性能等各方面介绍了氢化非晶硅碳合金(a-SiCx:H)薄膜这种重要的半导体材料.对其发展现状及前景进行了综述.并对近年来出现的纳米硅碳(nc-SiCx:H)薄膜的发展状况作了专门评述.
关键词: 硅碳合金 , 非晶 , 纳米薄膜 , 结构 , 光电性能
