欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(1)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

超声喷雾法制备In2S3薄膜及后续快速热处理对薄膜性能的影响

陈雄飞 , 汪雷 , 杨德仁

人工晶体学报

采用超声喷雾法制备了硫化铟(In2S3)薄膜,并考察了后续快速热处理(rapid thermal process,RTP)对硫化铟薄膜性能的影响.采用扫描电镜(SEM),X射线衍射(XRD)等手段对薄膜的形貌、结构、透射率等性质进行了表征.结果表明:超声喷雾法制备的In2S3,薄膜均匀致密,采用RTP热处理可提高薄膜的结晶性能,但对薄膜的透光性影响较小.通过计算可以得出薄膜的禁带宽度约为2.25~2.38 eV.

关键词: 硫化铟 , 快速热处理 , 超声喷雾法

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词