陈长鑫
,
金铁凝
,
张亚非
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2012.00449
碳纳米管(CNT)由于其独特结构和优异特性己被广泛用来构筑各种纳米器件.而CNT与电极间的接触在CNT器件中扮演着重要的作用,是器件性能的关键影响因素.采用何种有效的方法来改善CNT与金属电极间的接触一直是CNT器件研究中的一个重要方面.本文综述了近年来CNT/金属接触改善方法的研究进展,结合本课题组的研究对目前有代表性的接触改善方法进行介绍.阐述了各种改善方法的原理和加工工艺,讨论了采用这些方法获得的接触特性和器件性能,并对各方法的特点进行了比较.
关键词:
碳纳米管(CNT)
,
碳纳米管/金属接触
,
接触电阻
,
碳纳米管场效应晶体管(CNTFET)
,
综述
