于京明
,
孟婥
,
孙以泽
功能材料与器件学报
为分析微梳齿谐振器在空气阻尼下高频振动的动态特性,采用ANSYS参数化设计语言APDL进行编程分析,程序中将微谐振器模型简化成有面积的质量点,对质量点添加条件和约束建立分析模型,用FLUID139单元设置空气层模型,用TRANS126单元设置叉指换能模块,通过此程序求解的真空条件下的共振频率与理论分析结果基本吻合.与现有方法相比,该方法快速、实用、具有更好的适应性.
关键词:
ANSYS参数化设计语言APDL
,
微梳齿谐振器
,
空气阻尼
,
动态特性
金虎
,
陆德仁
,
沈绍群
,
鲍敏杭
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.02.006
介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地
介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度,传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有
横向效应进行了计算,结果表明此种结构的三种横向效应主要是由于质量块(岛)质心偏离梁中平面,
沿梁伸展方向( x向)惯性力分量产生的弯矩所致。提出了调整上下盖板与中间质量块之间的气隙改
善器件频响特性的方法。报道的压阻式微机械加速度传感器量程± 1g(g为重力加速度 ),线性度优
于 0.05%,灵敏度约 1mV/gV,阻尼比 0.7,带宽 110Hz。
关键词:
加速度传感器
,
压阻式
,
横向效应
,
空气阻尼