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基于APDL的微梳齿谐振器动态空气阻尼分析

于京明 , 孟婥 , 孙以泽

功能材料与器件学报

为分析微梳齿谐振器在空气阻尼下高频振动的动态特性,采用ANSYS参数化设计语言APDL进行编程分析,程序中将微谐振器模型简化成有面积的质量点,对质量点添加条件和约束建立分析模型,用FLUID139单元设置空气层模型,用TRANS126单元设置叉指换能模块,通过此程序求解的真空条件下的共振频率与理论分析结果基本吻合.与现有方法相比,该方法快速、实用、具有更好的适应性.

关键词: ANSYS参数化设计语言APDL , 微梳齿谐振器 , 空气阻尼 , 动态特性

低量程高线性压阻式微机械加速度传感器

金虎 , 陆德仁 , 沈绍群 , 鲍敏杭

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.02.006

介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地 介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度,传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有 横向效应进行了计算,结果表明此种结构的三种横向效应主要是由于质量块(岛)质心偏离梁中平面, 沿梁伸展方向( x向)惯性力分量产生的弯矩所致。提出了调整上下盖板与中间质量块之间的气隙改 善器件频响特性的方法。报道的压阻式微机械加速度传感器量程± 1g(g为重力加速度 ),线性度优 于 0.05%,灵敏度约 1mV/gV,阻尼比 0.7,带宽 110Hz。

关键词: 加速度传感器 , 压阻式 , 横向效应 , 空气阻尼

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