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阳极氧化法制备非晶Ta2O5及绝缘性能研究

杨兰 , 郭太良

功能材料

利用阳极氧化法制备Ta2O5绝缘介质薄膜。扫描电子显微镜(SEM)、能谱分析(EDS)和X射线衍射仪(XRD)研究表明Ta2O5绝缘介质薄膜表面平整,致密,呈非晶态。电击穿场强测试系统研究利用Ta-Ta2O5-Al复合薄膜制备FED器件(MIM结构)的绝缘性,表明薄膜具有较高的耐击穿场强,约为2.3MV/cm,分析Ta2O5的导通机理,主要为肖特基效应和F-N效应。

关键词: Ta2O5 , 阳极氧化 , 绝缘介质 , 导通机制

变压器油中绝缘介质沿面闪络的研究进展

周中升 , 邵涛 , 章程 , 杨文晋 , 方志 , 严萍

绝缘材料

变压器油中固-液交界面沿面闪络现象会严重影响绝缘设备的耐压性能,变压器油中绝缘介质沿面闪络的研究已引起研究人员的关注。介绍了目前研究所采用的实验研究方法以及测量手段,关注纳秒脉冲条件下的闪络特性,在此基础上综述了国内外有关变压器油成分、施加电压波形、绝缘结构以及固体介电性能等因素对沿面闪络影响的研究现状,介绍了沿面闪络过程和一些实用的经验公式,最后提出了变压器油中绝缘介质沿面闪络领域亟待解决的难点问题。

关键词: 变压器油 , 沿面闪络 , 绝缘介质 , 经验公式 , 纳秒脉冲 , 电压波形

射频集成电路用高性能金属-绝缘体-金属电容的研究

张秋香 , 朱宝 , 丁士进

功能材料与器件学报

随着无线通讯技术的快速发展,高性能金属-绝缘体-金属(MIM)电容器已引起人们的极大关注,成为下一代射频集成电路的必然选择.本文从MIM电容的技术背景、制备方法、绝缘介质的设计以及电极材料几个方面,对MIM电容器件的研究进展进行了较全面的综述,可望为开发下一代射频集成电路用高性能MIM电容提供技术指导.

关键词: 金属-绝缘体-金属(MIM)电容 , 高介电常数 , 绝缘介质 , 电极

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