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化学溶液沉积法La2CuMnO6缓冲层薄膜的制备与结构表征

马高峰 , 雷宁 , 张国防 , 卢亚峰 , 郗大来 , 白宏斌 , 王炳旭 , 冯宝奇

材料导报

根据镧、铜及锰盐在不同溶剂中的溶解性,选择合适的溶剂及镧、铜及锰盐为前驱体,配制成前驱溶液进行润湿性、稳定性及不同衬底热处理实验.成功筛选出制备La2CuMnO6(LCMO)缓冲层薄膜的前驱体,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)对化学溶液沉积法(CSD)合成的La2CuMno6薄膜的相组成和形貌结构进行了表征.结果表明,选择合适的前驱体(La(CH3COO)3·1.5H2O、Cu(CH3COO)2·1.0H2O、Mn(CH3COO)2·4.0H2O)及SrTiO3(STO)(100)衬底,在1000℃、保温时间3h、空气气氛及总离子浓度为1.0mol/L工艺条件下制备的La2CuMnO6薄膜具有很好的c轴织构,薄膜表面较平整、均匀、无裂纹、无孔洞,分布均匀且排列致密,完全满足缓冲层对薄膜的要求.

关键词: 化学溶液沉积法 , La2CuMnO6 , 前驱体金属盐 , 衬底 , 筛选 , 缓冲层薄膜 , 制备 , 结构表征

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