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熔石英亚表面缺陷的研究进展

蒋勇 , 袁晓东 , 祖小涛 , 向霞 , 徐世珍 , 吕海兵 , 章春来 , 尹伟 , 陈猛 , 王成程

材料导报

介绍了熔石英亚表面缺陷(SSD)的深度分布与粒径的量化关系及表面粗糙度的量化,以及杂质引起热破坏、裂纹导致电场增强、缺陷导致机械性能弱化3种诱导熔石英损伤的机理.还介绍了氢氟酸(HF)刻蚀和激光预处理2种非常有效的控制熔石英亚表面缺陷的技术,并对熔石英亚表面缺陷研究现状、存在问题和发展趋势进行了简要的总结和展望.

关键词: 亚表面缺陷 , 缺陷量化 , 损伤机理 , HF酸刻蚀 , 激光预处理

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