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聚乙烯亚胺添加剂对碱性镀铜电沉积行为的影响

占稳 , 胡立新 , 张智 , 欧阳贵 , 程骄 , 陈雪梅

材料保护

为了研究碱性镀铜中添加剂对铜电沉积行为的影响,采用一种新型柠檬酸碱性镀铜工艺制备了铜镀层,研究了聚乙烯亚胺添加剂在新型柠檬酸盐碱性镀铜中的作用机理.运用SEM,XRD和电化学方法对镀液、镀层进行了分析.结果表明:聚乙烯亚胺有利于获得较宽的电流密度范围和均匀细致的镀层,使铜镀层表现出(111)晶面的择优取向,铜的沉积为侧向生长;聚乙烯亚胺优先吸附在阴极高电流密度处,并对铜沉积产生较强的阻化作用;铜电沉积的初期行为服从扩散控制和三维连续成核方式生长规律.

关键词: 碱性镀铜 , 聚乙烯亚胺添加剂 , 镀层表面形貌 , 择优取向 , 连续成核

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