材料期刊网

基于塑性变形的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺

池积光 , 车录锋 , 王跃林

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.03.019

研究了基于塑性变形工艺的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺,主要包括采用非SOI硅片实现可动电极和固定电极的绝缘,通过KOH各向异性腐蚀制作凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确自对准,利用塑性变形使可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,以及结构释放后用硅片做掩膜制作电极引线块.最后利用该工艺成功地制作出一个垂直位错梳状驱动器.

关键词: 塑性变形 , 自对准 , 梳齿驱动 , 非平面驱动