刘昌辉
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何华辉
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沈翔
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李海华
功能材料
根据化学镀CoFeB薄膜试验得到镀液中反应物浓度、pH值、温度以及对应沉积速率.利用回归分析的研究方法,建立了沉积速率的多元线性回归分析的数学模型:y=b0+∑ri=1bixi 沉积量与反应物浓度、pH值等实验数据的相关性用剩余方差S来表征,借助于计算机编程运算,求出回归系数与回归系数的估计值b0-6、估计值的置信区间、残差r、残差的置信区间rint.研究上述诸因素所对应的反应动力学参数,求出了镀液沉积速率的方程式:v=k[Co2+]0.82[Fe]0.38[BH-4]1.62[OH-]0.83[L1]-1.02[L2]-0.95exp(-Ea/RT)以及通过上述的线形回归分析和实验验证可以得到化学镀CoFeB最佳配方.
关键词:
CoFeB回归分析
,
动力学
,
计算机编程
,
化学镀
,
沉积速率
