欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(1)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

等离子体化学气相沉积参量对Ar等离子体电子特性的影响

魏俊红 , 林璇英 , 赵韦人 , 池凌飞 , 余云鹏 , 林揆训 , 黄锐 , 王照奎 , 余楚迎

功能材料

采用加热的调谐单探针技术,研究了射频辉光放电Ar等离子体空间电子能量分布函数,电子平均能量和电子密度,并系统分析了等离子体增强化学气相沉积工艺参量对等离子体空间电子特性的影响.

关键词: 调谐单探针 , 等离子体化学气相沉积 , Ar等离子体

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词