陈牧
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颜悦
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张晓锋
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刘伟明
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周辰
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郭志强
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望咏林
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厉蕾
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张官理
航空材料学报
doi:10.11868/j.issn.1005-5053.2015.2.001
化学气相沉积法合成的石墨烯薄膜在实现石墨烯产业化应用过程中,依赖于大面积薄膜转移技术的突破性进展.本文按照中介物过渡转移法、直接干法和湿法转移法、大规模卷对卷转移法分类介绍了现有的30多种石墨烯薄膜转移方法,从微观机理到宏观实现方法对比了三类方法的优缺点和适用范围:中介物过渡转移法主要用于实验室阶段科学探索,转移后的薄膜质量高但尺寸小;直接干法和湿法转移法减少了中介物过渡流程,但仍处于小试阶段;大规模卷对卷转移法借鉴了半导体薄膜工业成熟的卷对卷技术,实现了米级尺寸薄膜的高效和可重复性转移,是目前批量化转移石墨烯薄膜的最有效途径.
关键词:
石墨烯薄膜
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转移技术
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目标基片
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中介物过渡转移
,
卷对卷转移
