高相东
,
李效民
,
于伟东
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.04.032
将超声辐照技术引入连续离子层吸附与反应(SILAR)法,提出超声辅助连续离子层吸附与反应(UA-SILAR)液相成膜技术.以锌氨络离子([Zn(NH3)4]2+)溶液为前驱体,在90℃下沉积得到ZnO薄膜,对其晶体结构、微观形貌、透过光谱和光致发光性能进行表征,并考察了超声辐照和沉积循环次数对薄膜形貌、结构和光学特性的影响.结果表明,所得薄膜由彼此交联、尺寸均匀的ZnO晶粒组成,呈现典型的多孔特征,同时具有高结晶性和强c轴取向性.由于多孔结构对入射光的散射作用,薄膜在可见光区具有低透射率(约20%);在紫外光激发下,薄膜具有较强的近带边发射和很弱的蓝带发射,体现出薄膜较高的光学质量;薄膜生长过程中超声辐照的引入可对薄膜的结晶性能和微观结构产生显著的影响.
关键词:
ZnO
,
薄膜
,
连续离子层吸附与反应方法(SILAR)
,
超声辐照
高相东
,
李效民
,
于伟东
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2004.03.027
采用连续离子层吸附与反应法(SILAR),以锌氨络离子([Zn(NH3)4]2+)为前驱体溶液,在玻璃衬底上沉积了ZnO薄膜,以XRD和SEM等手段分析了薄膜的晶体结构和表面、断面形貌,考察了空气气氛下的退火过程对ZnO薄膜晶体结构与微观形貌的影响,并初步探讨了以SILAR方法沉积ZnO薄膜的机理.结果表明,经200次SILAR沉积循环,所得ZnO薄膜为红锌矿结构的多晶薄膜,沿<002>方向择优生长;薄膜表面致密、光滑均匀,厚度约800nm.退火处理使ZnO薄膜氧缺位减少,晶粒沿c轴取向增强;随退火温度升高,锌间隙原子增加;500°C退火时,ZnO薄膜发生再结晶.减小前驱体溶液的[NH3.H2O]/[Zn2+]比率可提高ZnO薄膜生长速率.
关键词:
ZnO
,
薄膜
,
连续离子层吸附与反应方法(SILAR)
