黄志荣
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李攀瑜
机械工程材料
常压下用金属有机化学气相沉积法（MOCVD），以仲丁醇铝（ATSB）为前驱体、氮气为载气在HP40钢表面制备了纳米氧化铝薄膜；用光学显微镜、扫描电子显微镜及能谱仪、X射线衍射仪、原子力显微镜等研究了沉积温度等参数对氧化铝薄膜沉积速率的影响，并对其形貌进行了观察。结果表明：随着沉积温度从503K升高到713K，薄膜沉积速率从0．1mg·cm^-2·h^-1叫增加到0．82mg·cm^-2·h^-1；当沉积温度在593-653K范围内，可获得晶粒尺寸为10-15nm的纳米氧化铝薄膜；反应的表观活化能随氮气与ATSB蒸气混合气流速增加而降低，不同的混合气流速有不同的反应级数，ATSB的反应级为0．7±0．02。
关键词:
金属有机化学气相沉积法
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氧化铝
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沉积速率
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纳米薄膜
