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张连翰 , 孙敦陆 , 钱小波 , 杭寅
人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2002.02.011
本文以化学机械抛光为手段,以原子力显微镜(AFM)为工具,对高温超导薄膜衬底材料LaAlO3单晶的超光滑表面抛光进行研究.既观察到了由传统光学表面向超光滑表面过渡的过程,又观察到了超光滑表面加工的结果-表面的本征化.显示了超光滑表面抛光对外延衬底表面的重要性.
关键词: 铝酸镧单晶 , 高温超导 , 衬底材料 , 超光滑表面抛光
