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集成电路用钽溅射靶材制备工艺研究

宜楠 , 权振兴 , 赵鸿磊 , 武宇

材料开发与应用

金属钽可作为集成电路中铜与硅基板的阻隔层材料,以防止铜与硅扩散生成铜硅合金影响电路性能.采用钽靶材通过物理气相沉积技术溅射钽到硅片上.靶材晶粒尺寸与织构取向影响溅射速率及溅射薄膜均匀性,要求钽靶材晶粒尺寸应小于100 μm,在靶材整个厚度范围内应主要是(111)型织构.同时,为了避免薄膜存在杂质颗粒,要求钽靶材纯度不小于99.99%.本文对钽靶材电子束熔炼、锻造、轧制、热处理等关键工艺进行了系统研究,找到了一种有别于常规钽靶材生产工艺的新方法,所生产产品化学纯度、晶粒尺寸、织构等性能优良,产品成品率高,适于批量化生产.

关键词: , 溅射靶材 , 晶粒尺寸 , 织构 , 电子束熔炼 , 锻造 , 轧制 , 热处理

Ti-6Al-7Nb钛合金热加工与热处理工艺研究

牛中杰 , 曹继敏 , 杨冠军 , 王廷询

钛工业进展 doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2006.01.006

研究了Ti-6Al-7Nb合金不同热加工与热处理工艺引起的显微组织和力学性能变化,探讨该合金组织变化的特点和性能变化的内在规律.结果表明,在工业化生产条件下,Nb元素添加采用铌钛中间合金,选用适宜的铸锭熔炼工艺参数,可以获得成分均匀、无富Nb偏析的优质铸锭.在两相区锻造或轧制后坯料在700℃~800℃范围内退火,合金组织与性能均能满足ASTM和ISO标准要求.

关键词: Ti-6Al-7Nb合金 , 熔炼 , 锻造 , 轧制 , 热处理 , 显微组织 , 力学性能

钢锭超声波探伤质量分级与探讨

陈昌华 , 陈尧 , 钱健清

物理测试 doi:10.13228/j.boyuan.issn1001-0777.20150023

综合实际生产中钢锭的超声波探伤及低倍检验结果,将钢锭缩孔和疏松的探伤质量情况分为5个等级,并应用此分级为锻造实心件生产中如何选择原材料提出建议.探伤质量分级为钢锭的超声波探伤代替低倍检验的研究提供依据.将探伤质量分级与低倍检验结合,对钢锭质量可形成系统性研究,对实际生产具有重大指导意义.

关键词: 钢锭 , 超声波探伤 , 质量分级 , 低倍检验 , 锻造 , 缩孔 , 疏松

锻造态316LN不锈钢在高温高压水中的短期氧化行为

郭跃岭 , 韩恩厚 , 王俭秋

材料研究学报

用电子背散射衍射技术(EBSD)研究了锻造以及锻后固溶处理处理对核级316LN奥氏体不锈钢(316LNss)的晶粒尺寸、残余应变和晶粒取向分布的影响,并分析了原始态(即未锻造态)和锻造且固溶处理态316LNss在核电高温高压水中短期氧化(190 h)后表面氧化膜的形貌和成分.结果表明,锻造和锻后的固溶处理能减小晶粒尺寸和降低残余应变,同时消除了原始态316LNss内部的织构.在高温高压水中316LNss表面生成的氧化膜具有双层特征,外层氧化膜由氢氧化物和富Fe尖晶石结构氧化物组成,内层氧化膜主要由富Cr尖晶石结构氧化物组成;与原始态316LNss相比,锻造且固溶处理态316LNss的氧化膜较薄且Cr含量较高,氧化速率较小.最后讨论了316LNss在高温高压水中的氧化机理.

关键词: 材料失效与保护 , 316LN不锈钢 , 氧化膜 , 高温高压水 , 锻造 , 腐蚀 , 核电

高强耐热镁合金大型锻件组织性能研究

张浩 , 张绪虎 , 杜志惠 , 周晓建 , 阴中炜 , 王少华 , 朱秉诚

材料科学与工艺

为了满足航天飞行器对结构减重的迫切需求,推动变形镁合金在航天飞行器上的应用,采用力学性能测试及显微组织分析的方法对高强耐热镁合金工业级大型锻件进行了研究.研究结果表明:锻前固溶处理不能完全消除晶间稀土元素的偏析,这些稀土元素最终以Mg24Y5、Mg5Gd等相的形式保留下来,并呈现出颗粒形态;锻环力学性能的各向异性随着变形温度的提高而降低;低于250℃时,该合金的断口呈现出准解理和韧性撕裂的混合特征,随着温度的升高,韧性断裂的比重逐渐加大,当变形温度提高到300℃时,呈现出韧窝聚集形断裂特征.

关键词: 镁合金 , 锻造 , 时效处理 , 力学性能 , 显微组织 , 偏析

热变形高铌TiAl合金室温塑性研究

高建峰 , 徐向俊 , 林均品 , 宋西平 , 王艳丽 , 林志 , 陈国良 , 李树索 , 苏喜孔 , 韩雅芳

稀有金属材料与工程

研究了包套锻造对大尺寸高铌TiAl合金室温塑性的影响.结果表明,经过多步包套锻造后,合金室温塑性大大改善,延伸率可达2.29%.这主要归于:多步包套锻造有效地破碎了粗大的铸态组织以及在锻造过程发生了动态再结晶,这样不仅使合金平均晶粒尺寸降低,而且使合金晶粒分布均匀化,得到均匀细小的双态组织.此外,高铌TiAl合金经多步锻造后,有效消除了晶界偏析的脆性β相,从而使合金的室温塑性得到改善.

关键词: TiAl合金 , 锻造 , 室温塑性 , 组织均匀化

TC4合金大直径筒形件锻造工艺的改进

陈炜

钛工业进展 doi:10.3969/j.issn.1009-9964.2010.03.006

分析第1种工艺和第2种工艺锻制TC4合金大直径筒形件的利弊,对第1种工艺进行了改进,并采用改进后的工艺方案试制了TC4合金大直径筒形件.观察了改进后产品宏观形貌、显微组织,测试了改进后产品的力学性能,进行超声波探伤.结果表明:采用改进后的第1种工艺方案锻制的TC4合金大直径筒形件端面不开裂,内外表面裂纹少;铸造组织得到完全破碎,热处理后为细小的α+β等轴晶;力学性能较改进前显著提高,抗拉强度和屈服强度分别提高25 MPa和19 MPa,延伸率和断面收缩率分别提高5.5%和15.6%;超声波检验达到GB 5193的A级;仅原料成本一项就节省26%.

关键词: TC4合金 , 锻造 , 钢包覆 , 筒形件

高温合金扇形件的锻造工艺

夏欲民 , 荣继祥

钢铁研究学报

系统地运用了自由锻锤和环轧机联合制坯工艺,设计出适宜的工装,解决了模锻设备吨位不足、原材料消耗大、锻模使用寿命短等传统锻造工艺无法克服的困难.确保了产品质量,劳动生产率获得大大提高,对于类似产品的锻造工艺具有普遍的指导意义.

关键词: 高温合金 , 锻造 , 安装边 , 锻锤 , 制坯

加工工艺对AZ61镁合金拉压不对称性的影响

汪清 , 王敬丰 , 黄崧 , 李琳俊楠 , 耿铁 , 潘复生

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2013.11.010

采用一次挤压变形、二次挤压变形以及一次挤压后再进行锻造的三种加工工艺对AZ61镁合金进行塑性变形,研究不同的加工工艺对镁合金力学性能及拉压不对称性的影响.结果表明:挤压变形可以细化AZ61镁合金的晶粒,而在挤压后进行锻造变形,会使得其晶粒长大粗化.二次挤压后,由于强化了{0002}基面织构,AZ61镁合金的拉伸屈服强度增加,压缩屈服强度下降,使得拉压不对称性加大.而一次挤压后锻造,在挤压基面织构状态得到改变,且由于晶粒粗大,从而总体上使得AZ61镁合金的拉伸屈服强度下降,而压缩屈服强度几乎保持不变,AZ61的拉压不对称性得到改善.

关键词: 镁合金 , 挤压 , 锻造 , 不对称性

热处理工艺对 TA5钛合金棒材显微组织及性能的影响

沈立华 , 朱宝辉 , 马超 , 刘彦昌 , 王培军 , 刘守田 , 王益 , 姜韬

钛工业进展

经过多火次锻造得到具有均匀细小等轴组织的TA5钛合金棒材,在600~800℃范围内对其进行不同温度和不同保温时间的退火热处理,研究不同热处理工艺对其显微组织与力学性能的影响。结果表明,热处理温度在700~750℃,保温时间在60~90 min之间时,得到的组织为更加均匀的等轴组织;棒材的抗拉强度为740 MPa左右,屈服强度在595 MPa左右,延伸率在14%左右,强度和塑性达到较好的匹配。

关键词: TA5钛合金 , 锻造 , 棒材 , 显微组织 , 力学性能

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