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316 L不锈钢制备FeAl/Al2O3防氚层的研究?

冯军 , 童洪辉 , 金凡亚 , 但敏 , 沈丽如 , 陈美艳 , 赖新春

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.05.020

在316L不锈钢基体上,采用磁控溅射镀铝、热处理、氧离子注入复合工艺制备 FeAl/Al2 O3防氚层,并利用 XRD、SEM、EDS 分别对膜层进行了相结构、表面形貌、化学成分等分析.结果表明,磁控溅射制备了质量良好的铝膜,最佳工艺参数为温度170℃,溅射功率1400 W;热处理生成了含 FeAl 相的过渡层,并提高了膜基结合力,在700℃,120 min 时,膜基结合力达到最大值62.5 N;最终由离子注入生成的Al2 O3膜层由α、γ相组成,涂层厚度约360 nm,抗热震性能较好,在600℃下该涂层使316L不锈钢的氘渗透率降低3个数量级.

关键词: 316L 不锈钢 , 磁控溅射 , 热处理 , 氧离子注入 , 防氚

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