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膜法处理焦化脱硫废液的工艺研究

殷娜 , 刘飞 , 邢卫红

膜科学与技术 doi:10.3969/j.issn.1007-8924.2010.06.014

将陶瓷超滤膜、纳滤和反渗透膜法相结合对焦化脱硫废液进行资源化回收利用.研究结果表明:陶瓷膜对脱硫废液中硫磺可100%的截留,渗透液澄清透明;纳滤膜可有效分离硫代硫酸铵和硫氰酸铵,对硫代硫酸铵的截留率为95%,硫氰酸铵的透过率大于100%;采用反渗透膜对硫氰酸铵溶液进行脱水浓缩,4级反渗透对硫氰酸铵的总截留率达99%,渗透出水电导率小于171μS/cm,可循环使用到纳滤透析工艺中.文章研究的膜法处理焦化脱硫废液工艺可将焦化含硫废水中有价值的硫和副盐分离提纯,创造经济价值,又可减少废水的排放,实现水循环利用,该研究为脱硫废液的资源化处理提供了一条新工艺.

关键词: 陶瓷膜 , 集成工艺 , 脱硫废液

铁电存储器集成工艺中关键技术研究进展

杨艳 , 张树人 , 刘敬松 , 杨成韬

材料导报

铁电薄膜与半导体集成技术相结合而发展起来的铁电存储器与传统的半导体存储器相比有很多优点,其关键集成工艺技术有铁电薄膜制备技术、电极制备、刻蚀技术、氢阻技术、金属互连技术、钝化技术.简要介绍了这些工艺技术的研究现状,并讨论了相关工艺对性能的影响.

关键词: 铁电薄膜 , 铁电存储器 , 集成工艺

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