张涛
,
吴一辉
,
张平
,
刘永顺
,
于震雷
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.022
基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵.微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体上,微泵泵体的收缩/扩张单元采用微机械工艺制作,采用两步注塑工艺加工磁性PDMS(polymethylsiloxane)振动膜.电磁微泵样机的实验结果显示:该微泵的工作性能稳定,整机具有较高的体积功能比,样机尺寸32mm×28mm×10mm,在0.6A电流输入,工作频率为13Hz时,流量可达180μl/min,零流量下的最大背压达2.75mbar.
关键词:
微机械
,
微型电磁驱动器
,
微型泵
,
集成磁性薄膜
