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安兵 , 张同俊 , 崔崑
材料导报
金属多层膜在高温低应力条件下发生弹性蠕变时,由于膜的塑性流动,使得测量金属固-固相界面能成为可能.介绍了一种测量金属固-固相界面能的方法--零蠕变法,并着重阐述双向零蠕变法的原理和设备,
关键词: 界面能 , 零蠕变法 , 多层膜 , 激光曲率法
安兵 , 张同俊 , 袁超 , 崔崑
材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2003.05.005
采用零蠕变法测量Si(111)单晶片上沉积的TiAl/Al多层膜界面自由能.其实验方法为:采用基片曲率法测量TiAl/Al多层膜升温退火过程中的应力变化,分别在350℃、400℃、450℃和500℃保温,发现500℃时多层膜达到平衡状态,最终的平衡应力为0.57MPa,计算TiAl/Al的界面自由能γint为0.19J/m2.
关键词: 零蠕变法 , 多层膜 , 界面自由能
