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MWECR CVD法高速沉积α-Si:H薄膜的红外光谱研究

宋雪梅 , 宋道颖 , 陈蔚忠 , 芦奇力 , 冯贞健 , 鲍旭红 , 邓金祥 , 陈光华

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2002.03.022

应用微波电子回旋共振化学气相沉积(MWECR CVD)方法,在较高速度下沉积了α-Si:H薄膜,用FTIR红外谱仪研究了α-Si:H薄膜的结构特性随H2/SiH4、沉积温度和沉积速率变化关系,并对2000cm-1附近的特征吸收峰用高斯函数进行了拟合分析,获得了沉积高质量α-Si:H薄膜的最佳工艺条件.

关键词: MWECR CVD , α-Si:H薄膜 , IR分析 , 高斯函数拟合

基于高斯函数的风机特性曲线拟合及应用

郭佰灿 , 乔登攀 , 范凌云 , 程国祥 , 朱继龙

黄金 doi:10.11792/hj20170407

针对矿山风机特性曲线多项式拟合中存在的曲线振荡和假收敛,拟合的曲线与实际通风机特性曲线的非稳定工作区域形状相差较大等问题,基于最小二乘准则,提出一种用高斯拓展函数拟合风机p-Q曲线的算法.在计算过程中运用MATLAB软件对风机p-Q实测数据进行处理,利用BFS法编程计算了高斯非线性方程组并得到高斯函数各项参数,绘制了高斯拟合结果图,从而给出了求解最佳风机p-Q曲线拟合方程的算法.采用高斯函数可近似拟合包含马鞍形区域与稳定工作区域的风机全压特性曲线,与多项式最小二乘法相比,避免了低次多项式假收敛和高次多项式曲线振荡的问题.

关键词: 风机特性曲线 , 最小二乘准则 , 高斯函数拟合 , BFS法 , MATLAB编程

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