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付志强 , 王成彪 , 李金丽 , 于翔 , 彭志坚
稀有金属材料与工程
利用扫描电子显微镜、原子力显微镜等手段研究负偏压对多弧离子镀制备的(Ti, Cr)N薄膜表面缺陷、表面粗糙度、化学成分、沉积速率及硬度的影响.结果发现:随着负偏压的增加,(Ti, Cr)N薄膜的液滴受到抑制,表面粗糙度下降,沉积速率降低,硬度增加,但负偏压对薄膜的Cr含量影响较小.
关键词: (Ti,Cr)N薄膜 , 多弧离子镀 , 负偏压 , 表面缺陷
