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燃烧化学沉积纳米α- Al2O3薄膜及晶化处理

张增志 , 付跃文 , 周有强

无机材料学报

提出了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法一燃烧化学沉积法.该方法省去了真空条件;直接在空气中沉积纳米陶瓷薄膜.其主要特点是将配制好的初始液体雾化,让该液雾穿过高温火焰流体.初始液体在火焰流中发生化学反应,并形成反应火焰流,该反应火焰流体系在火焰流的前方基底上沉积出纳米陶瓷薄膜,然后再通过热处理进行晶化处理,使形成晶态相.本文以制备 α-Al纳米薄膜为例,介绍用该方法的制备过程,并用SEM和 TEM分析了。α-Al纳米薄膜的显微形貌和结构.

关键词: 纳米陶瓷 , combustion chemistry , deposition , α-Al2O3

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