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工艺参数对a-CNx膜沉积的影响

肖兴成 , 江伟辉 , 宋力昕 , 田静芬 , 胡行方

无机材料学报

研究了基本工艺参数对磁控溅射制备无定形氮化碳(a-CNx)薄膜沉积的影响.实验结果表明:N流量的增加提高了膜的沉积速率,同时提高了膜中氮含量.溅射功率的提高增加了沉积速率.偏压对硬质膜的制备是一关键的工艺参数,它不仅使薄膜致密、表面光滑,而且还可以提高膜中的N含量.

关键词: a-CNx , processing parameters , deposition

工艺参数对连续变断面圆柱体镦粗变形特征的影响

刘莹莹 , 刘长瑞 , 王庆娟 , 李洁 , 尤雪磊

材料热处理学报

采用一种大塑性变形方法-连续变断面循环挤压法,研究材料在镦粗工序时的变形特征及金属流动规律,并就改善镦粗时的鼓形、失稳折叠现象进行理论分析.研究表明,沿着高向(轴向),材料由上向下依次变形,且直径增大幅度和厚度减小幅度均从上到下依次减小,是一种不均匀变形;面积增大是由于金属质点沿径向流动和侧面翻平叠加的结果.而镦粗工序就是利用这种设定的不均匀变形方法的“时空”特点,改善和消除圆柱体镦粗时产生鼓形及失稳折叠的不均匀变形.

关键词: 连续变断面循环挤压 , 工艺参数 , 变形特征 , 金属流动规律

多次激光冲击强化对Ti-5Al-4Mo-4Cr-2Sn-2Zr钛合金微观组织及力学性能的影响

周留成 , 李应红 , 何卫锋 , 陈东林 , 聂襄樊

稀有金属材料与工程

对Ti-SAl-4Mo-4Cr-2Sn-2Zr钛合金进行了不同能量和冲击次数的激光冲击强化,通过残余应力、显微硬度、XRD和TEM分析其对力学性能和微观组织的影响.结果表明,功率密度和冲击次数对残余应力和显微硬度都有较大影响,激光冲击强化后,显微硬度和残余应力都有大幅度提升,并形成一定厚度的变形层,增加冲击次数或者增大功率密度都可提高其幅值和影响深度.不同冲击参数下的XRD测试表明,激光冲击强化后衍射峰位置没有发生变化,但有展宽.激光3次冲击后可在表面形成一层纳米晶,晶粒大小为30~60 nm,且取向随机.位错运动是Ti-5Al-4Mo-4Cr-2Sn-2Zr钛合金晶粒细化的主要原因.

关键词: 激光冲击强化 , 钛合金 , 冲击参数 , 残余应力 , 表面纳米晶

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